AT200M 經(jīng)濟(jì)型原子層沉積設(shè)備

• 占地面積小（~ 15 英寸 3 或 38.1 厘米 3：寬：14 英寸（35.5 厘米）x 深：15 英寸（38.1 厘米）x 高：14.5 英寸（36.5 厘米））

• 適合手套箱

• 可容納來自 2“ x 2" x 3“ 或四個(gè) 2" 圓形/方形晶圓的樣品（可定制卡盤/8 x 2“ 盒）

• 一種前驅(qū)體和一種反反應(yīng)物（也提供我們的 4 端口選項(xiàng)：3 個(gè)前驅(qū)體和 1 個(gè)反反應(yīng)物或 2 個(gè)前驅(qū)體和 2 個(gè)反反應(yīng)物）

• 新 – AT 200M Plus，配備 13.56MHz、80W 空心陰極等離子體源（1 個(gè)標(biāo)準(zhǔn) MFC 和最多 2 個(gè)可用）。

• 帶有金屬密封線的半導(dǎo)體級(jí)組件

• 通風(fēng)前體外殼

• 高溫兼容、快速脈沖的 ALD 閥，帶有用于集成惰性氣體吹掃的超快速 MFC

• 前體（最高 180°C），歧管，腔室加熱以確保無(wú)冷凝。

• 強(qiáng)大的 PLC 驅(qū)動(dòng)用戶界面（可通過 Windows 進(jìn)行遠(yuǎn)程以太網(wǎng)控制）

• 不銹鋼腔體可加熱至 300°C（可選卡盤可達(dá) 450 °C 或更高）

特征

• 
  

• 占地面積小（~ 15 in3 或 38.1 cm3），可輕松安裝在手套箱中或 SEM/TEM 蒸發(fā)器旁邊。

• 一個(gè)前體和一個(gè)反反應(yīng)物（可擴(kuò)展到 4 個(gè)）

• 可容納來自 2“ x 2" x 3“ 或四個(gè) 2" 圓形/方形晶圓的樣品（可定制卡盤/8 x 2“ 盒）

• 通風(fēng)前體外殼

• 高溫兼容、快速脈沖的 ALD 閥，帶有用于集成惰性氣體吹掃的超快速 MFC – 標(biāo)準(zhǔn)配置

• 金屬密封線

• 前體（最高 180°C），歧管，腔室加熱以確保無(wú)冷凝。

• 不銹鋼腔室可加熱至 300°C（可選擇 450 °C 或更高）

• 帶集成 PLC 控制器的 5 英寸顯示器（無(wú)需 PC）

規(guī)格

• 室溫從室溫到 300°C ± 1 °C

• 前驅(qū)體溫度從室溫到 180°C ± 2°C（帶加熱夾套）

• 市場(chǎng)上占地面積最小（1.6 平方英尺），臺(tái)式安裝，潔凈室兼容（與我們大型系統(tǒng)的所有安全聯(lián)鎖裝置），也適合手套箱。

• 系統(tǒng)維護(hù)簡(jiǎn)單，公用事業(yè)和前體使用量低。

• 腔室容積小

• 非常快的循環(huán)能力。

• 完整的硬件和軟件聯(lián)鎖，即使在多用戶環(huán)境中也能安全運(yùn)行

選項(xiàng)

• · 無(wú)需集成手套箱 [適合手套箱（或連接到手套箱的側(cè)面）

• · 定制卡盤/壓板（方形、圓形、雙基板、籃子、小件、較厚的基板、8 個(gè)晶圓盒）。

• · 新 – AT 200M Plus，配備 13.56MHz、80W 空心陰極等離子體源（1 個(gè)標(biāo)準(zhǔn) MFC 和最多 2 個(gè)可用）。

• · 新產(chǎn)品：溫度補(bǔ)償 QCM

• · 新：450 °C（或更高）卡盤

• · ATOzone – 臭氧發(fā)生器（某些薄膜需要：Pt、Ir、SiO₂、MoO₂、60°C 以下的高質(zhì)量 Al₂O₃、高質(zhì)量 HfO₂）

• · 可選 – 臭氧安全監(jiān)測(cè)器，可實(shí)時(shí)檢測(cè)環(huán)境臭氧氣體

• · 4 端口選項(xiàng)（例如：2 個(gè)加熱前驅(qū)體、1 個(gè)未加熱前驅(qū)體、1 個(gè)反反應(yīng)物）

• · 新 – 6 端口選項(xiàng)（例如：2 個(gè)加熱前驅(qū)體、2 個(gè)未加熱前驅(qū)體、2 個(gè) MFC 控制的反反應(yīng)物）

• · 新 – MLD 選項(xiàng)

• · 粉末涂料滾筒

• 外部控制 – PC/軟件鏈接（允許遠(yuǎn)程編程和運(yùn)行）

• 包括可通風(fēng)前體柜

安裝

有關(guān)詳細(xì)說明，請(qǐng)參閱我們的說明：“AT200M 安裝和啟動(dòng) "

• · N₂ 吹掃氣體應(yīng)為 >99.9995%，帶截止閥（調(diào)節(jié)至 10 – 30 psi，金屬密封），

• · 通過 1/4 英寸金屬密封管將氮?dú)?（UHP） 吹掃氣體連接到背面的 1/4 英寸壓縮接頭上

• · 通過 1/4“ 聚乙烯管或金屬線將 90-110 psi CDA（清潔干燥空氣）連接到另一個(gè) 1/4" 壓縮接頭

• · 使用適當(dāng)?shù)?1 英寸真空（金屬 （SS））軟管 （KF25）、O 形圈和夾子連接泵

• · 真空泵的另一側(cè)（排氣側(cè)）（* 全氟真空油，如 Fomblin，必需）應(yīng)進(jìn)入標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室排氣或頂部，抽> 5cfm（1 英寸管道）。

• · 大于 1 米需要使用 1.5 英寸 （NW40）。

• · 前體通過內(nèi)螺紋 VCR 彎頭連接（始終使用新墊圈）。

• · 先是 1/4 英寸墊圈（戴手套）

· 有關(guān)前驅(qū)體的連接，請(qǐng)參閱 “AT200M 安裝和啟動(dòng) "

軟件

有關(guān)詳細(xì)說明，請(qǐng)參閱我們的演示和視頻說明：“AT200M 安裝和啟動(dòng) "

• 帶 5 英寸觸摸屏的人機(jī)界面 （HMI） PLC 系統(tǒng)

• 
  面板

• · 適用于標(biāo)準(zhǔn) ALD 循環(huán)沉積的優(yōu)良控制

• · 用于高質(zhì)量、經(jīng)過測(cè)試的工藝的配方數(shù)據(jù)庫(kù)

• · 自定義配方輸入屏幕

• · 實(shí)時(shí)顯示工藝狀態(tài)

• · 可單獨(dú)編程的加熱源溫度

• · 用于三元化合物和納米層壓板的內(nèi)置脈沖序列

• · 快速運(yùn)行，簡(jiǎn)單的問題讓用戶開始

• · 輸入子周期和總周期