Tergeo 等離子體系統(tǒng)-一種用于研發(fā)的等離子體蝕刻和清洗的經(jīng)濟(jì)高效的多功能解決方案。通過(guò)全自動(dòng)系統(tǒng)控制確保一致、可重復(fù)的結(jié)果，Tergeo 系統(tǒng)可以產(chǎn)生各種等離子體，包括氧氣、氬氣、環(huán)境空氣、氮?dú)?、氫氣、SF6、水蒸氣等，以有效去除碳?xì)浠衔锖蜔o(wú)機(jī)表面污染物。其先進(jìn)的功能不僅可以清潔和活化表面，還可以增強(qiáng)粘合強(qiáng)度，提高表面能，并使樣品親水，使其成為精確表面制備和改性的理想選擇

Tergeo桌面等離子清洗機(jī)的規(guī)格和特點(diǎn)：

1. RF 功率系統(tǒng)

• 頻率：13.56 MHz -在同等功率下，比低成本 kHz 等離子系統(tǒng)效率高 10 倍以上。

• 功率輸出：可選擇 0-75 W 或 0-150 W，可通過(guò)配方設(shè)置以 1 W 的增量進(jìn)行調(diào)節(jié)。

• 阻抗匹配：全自動(dòng)優(yōu)化功率傳輸。

2.等離子體操作模式

• 模式：

• 連續(xù)模式：傳統(tǒng)的穩(wěn)態(tài)等離子體操作。

• 脈沖模式：功能，可從 100%（連續(xù)）到小于 1%的可調(diào)脈沖占空比，將等離子體強(qiáng)度動(dòng)態(tài)范圍提高 100 倍。

• 清潔技術(shù)：

• 高速直接模式：電容耦合放電的積極清潔。

• 溫和的下游模式：感應(yīng)耦合放電更微妙的清潔應(yīng)用。

3.過(guò)程監(jiān)測(cè)和控制

• 等離子體強(qiáng)度監(jiān)測(cè)：在蝕刻、灰化和清潔過(guò)程中進(jìn)行實(shí)時(shí)定量測(cè)量，以確保工藝穩(wěn)定性和可重復(fù)性。

• 控制系統(tǒng)：

• 基于預(yù)設(shè)配方的全自動(dòng)操作（可定制）。

• 需要時(shí)可手動(dòng)操作。

4.氣體輸送和腔室設(shè)計(jì)

• 工藝氣體：與氧氣、氬氣、氫氣、氮?dú)?、CF 氣體、SF 氣體、水蒸氣等兼容。

• 氣體輸送：

• 最多三個(gè)通道，帶質(zhì)量流量控制器（MFC）調(diào)節(jié)氣體輸入。

• 用于大氣壓力排氣的附加排氣口。

• 滅菌室：

• 由石英構(gòu)成。

• 內(nèi)徑：4.3 英寸（160 毫米）。深度：11 英寸（280 毫米）。

5.真空系統(tǒng)

• 壓力傳感器：耐腐蝕鉑絲皮拉尼壓力計(jì)。

• 真空泵選項(xiàng)：

• 優(yōu)質(zhì)干式渦旋泵額定用于氧氣應(yīng)用。

• 油泵內(nèi)充有惰性 PFPE 泵油，與氧氣相容。

6.用戶(hù)界面和遠(yuǎn)程支持

• 接口選項(xiàng)：

• 嵌入式 7 英寸 LCD 工業(yè)觸摸屏。

• 基于 Windows PC 的界面。

• 產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 全自動(dòng)操作，集成配方控制。

• 運(yùn)行日志存儲(chǔ)以進(jìn)行進(jìn)程監(jiān)控。

• 遠(yuǎn)程支持：

• 自診斷功能和日志文件存儲(chǔ)，用于故障排除。

• 必要時(shí)可從美國(guó)總部進(jìn)行遠(yuǎn)程控制訪問(wèn)。

7.物理和電氣規(guī)格

• 尺寸：450 mm（寬）× 250 mm（高）× 430 mm（深）。

• 重量：約 45 磅（20 公斤）。

• 電氣輸入：90-230 V AC，單相，10 A。

8.認(rèn)證

• UL 61010-1：2012 R4.16

• CAN/CSA-C22.2 61010-1-12+GI1+GI2（R2017）

• IEC 61010-1：2010

• CE 和 TüV Rheinland 品牌

• NRTL 兼容

Tergeo桌面等離子清洗機(jī)典型應(yīng)用：

• 引線鍵合、倒裝芯片封裝、器件封裝和解封裝

• SEM/TEM 樣品清洗用于去除碳污染物和減少氧化物

• 生物醫(yī)用涂層前的表面處理及提高醫(yī)用植入物的親水性

• 環(huán)氧樹(shù)脂粘合前的光學(xué)、玻璃和基板清潔

• 光致抗蝕劑灰化、除渣和硅晶片清洗

• PDMS、微流體、載玻片和芯片實(shí)驗(yàn)室

• 改善金屬對(duì)金屬或復(fù)合材料的粘合

• 改善塑料、聚合物和復(fù)合材料的粘合